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发表于 2008-2-24 09:15
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现在的多晶硅多是采用改良西门子法。将工业级的硅与氯化氢发生氢化反应生成三氯氢硅。再用氢气还原三氯氢硅生成高纯度的硅(其纯度讲原子个数)。改良西门子法只能做到直径200mm的硅棒,现在国内有几家能做到200mm(新光硅业前段时间好象做出来了)。但国外采用高频加热的方法已经能做到400mm的了。国内目前还没有听说有采用采用此种方法的。本人目前正在从事多晶硅的生产,期望同行交流。 :)  |
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